超纯水规格GB/T11446.1-1997

中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997 电阻率25℃MΩ*cm硅≤μg/L铜≤μg/L锌≤μg/L镍≤μg/L钠≤μg/L钾≤μg/L氯≤μg/L>1μm颗粒≤个/ml细菌≤个/ml硝酸根≤g/L磷酸根≤μg/L硫酸根≤μg/LTOC≤μg/LEW-I≥18*20.20.20.10.50.510.10.0111120EW-II≥15 **1000122150.1111100

注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）

中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准

指标\级别 EW－Ⅰ EW－ⅡEW－Ⅲ EW-Ⅳ电阻率 MΩ，cm(25℃)18以上，（95％时间）不低于1715，（95％时间）不低于13 12.0   0.5   全硅，较大值,μg/L210501000＞1μm微粒数，较大值，个/mL0.1510500 细菌个数，较大值，个/mL0.010.110100 铜，较大值，μg/L0.212500 锌，较大值，μg/L0.215500 镍，较大值，μg/L0.112500 钠，较大值，μg/L0.5251000 钾，较大值，μg/L0.525500 氯，较大值，μg/L11101000 硝酸根，较大值，μg/L115500 磷酸根，较大值，μg/L115500 硫酸根，较大值，μg/L115500 总有机酸，较大值，μg/L201002001000